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至纯科技6月29日在互动平台回答投资者提问时表示，公司制程设备覆盖半导体领域的各类设备，以湿法清洗设备为主。公司湿法清洗设备在28纳米全部工艺工序段已通过验证并有重复订单。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

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